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小面積上涂層厚度的測量方案
點擊次數(shù):2468 更新時間:2015-01-07

小面積上涂層厚度的測量是個頭疼的問題,怎么選擇小面積涂層測厚儀呢?

我們先了解一下關(guān)于涂層厚度測量的基本知識,再逐步分析小面積上的涂層厚度的測量方式。涂層也叫覆層,涂層覆層厚度的測量方法主要有:楔切法,光截法,電解法,厚度差測量法,稱重法,X射線熒光法,β射線反向散射法,電容法、磁性測量法及渦流測量法等。這些方法中前五種是有損檢測,測量手段繁瑣,速度慢,多適用于抽樣檢驗。生產(chǎn)中磁性法和渦流法是常用的涂層厚度測量方式,估計要占到95%以上。

X射線和β射線法是無接觸無損測量,但裝置復(fù)雜昂貴,測量范圍較小。因有放射源,使用者必須遵守射線防護規(guī)范。X射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量。電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測厚時采用。

申明一下,我司(無錫君達(dá)儀器)所知道的知識也是有限的,太深奧的關(guān)于涂層厚度的測量機理也不懂,我們只是就自己掌握的東西和大家交流。文章謝絕復(fù)制和轉(zhuǎn)摘!

測量涂層厚度采用磁感應(yīng)原理時,利用從測頭經(jīng)過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,來測定覆層厚度。也可以測定與之對應(yīng)的磁阻的大小,來表示其覆層厚度。覆層越厚,則磁阻越大,磁通越小。

測量涂層厚度采用電渦流原理時,高頻交流信號在測頭線圈中產(chǎn)生電磁場,測頭靠近導(dǎo)體時,就在其中形成渦流。測頭離導(dǎo)電基體愈近,則渦流愈大,反射阻抗也愈大。這個反饋作用量表征了測頭與導(dǎo)電基體之間距離的大小,也就是導(dǎo)電基體上非導(dǎo)電覆層厚度的大小。

在涂層厚度的實際測量中,影響測量數(shù)據(jù)的度的因素有很多,比如邊緣效應(yīng),表面粗糙度以及變形基體的磁性能電性能等。

這里講到了邊緣效應(yīng),就關(guān)乎小面積上涂層厚度的測量了。當(dāng)工件面積很小,比如直徑小于5毫米,那么無論是磁感應(yīng)還是電渦流涂層厚度測量原理,傳感器所發(fā)出的磁場或電渦流,作用在基體上后,電磁場將會是不規(guī)則的,這就給主機的計算帶來的困難,具體表現(xiàn)為無顯示,或即使有顯示,測試涂層厚度數(shù)據(jù)和真實涂層厚度數(shù)據(jù)差異很大。

用戶如果自己的產(chǎn)品面積很小,用普通的測厚儀是無法測量的,常規(guī)的涂層測厚儀要求工件面積直徑10mm以上。因為小面積的涂層厚度的測量要求高同時市場需求很小,這就給涂層測厚儀的研發(fā)帶來了效益上的考慮。目前,國內(nèi)的小面積涂層厚度測量還是個薄弱環(huán)節(jié),雖然標(biāo)稱zui小可測5毫米,但效果差強人意。國外(德國)的有測到磁性3毫米渦流2毫米的,使用起來還可以。國內(nèi)的如TT260F400探頭和CNO2探頭,探頭和主機需要較真(用戶不要動手!)國外的EPK1100N02探頭和F05探頭。具體的還需要進一步交流。

同時,正因為小面積的涂層厚度的測量基本已經(jīng)達(dá)到本身小面積涂層厚度測量的極限,所以,在小面積的涂層厚度的實際測試時,涂層厚度的測試精度,客戶不要太較真。

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